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  金屬製品事業部
 
クリーンルーム高負荷鋼製高架フロア
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Brazing

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製品の特色
導言
将来、光電パネルの第7世代、第 8 世代ライン及び12イン
チ以上のウェハーメーカーの重い製造設備は高い負荷強
度を持つ高架フロアの支持が必要で、 従来のアルミ合金
ダイカス ト式フロアの強度では高負荷ニーズを満足させる
ことがやや難しいです。この点に対し、 弊社が研究し製造
した“クリーンルーム用高負荷鋼製高架フロア”はアルミ材
の特性に欠けるところを補います。 当製品は、 鋼材にプレ
ス、 組立て、溶接、及び熱処理を施して得られた機械強
度が最大の鋼材で、将来、高架フロアが必要とする強度
要求を満足させるものです。 しかも鋼製フロアの 優位点
は主にコストの節約、より安全で取り付けやすい 、省エ
ネ、高負荷性能などの長所を持つことです。
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製品の特色
耐高負荷: 負荷強度を大幅に高める (鋼製フロアに特殊な熱処理を施し、極めて高い強度が得られる)。
より安全: 負荷を超えた時、鋼製フロアは変形しても割れることはありません(アルミ合金フロアは負荷を超えると割れるこ
        とがあります)。
より軽量: 重量が軽い (等負荷時、アルミ合金フロアの重量は鋼製フロアより重い)。
より省エネ: 鋼材の熔解はアルミ材に比べて消費するエネルギーが少ない。
より美しい: 鋼製フロアはCISCA/JIS/ CNS規範に合致し、接合箇所が平滑で加工寸法が整う。
ガス放出が低い: 鋼製フロアはガス放出性がアルミ合金フロアより低い。
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違いの比較(鋼製フロアとアルミ製高架フロア)
アイテム
     鋼製フロア
  アルミ合金フロア
極限載重
6000~9000kgf /6.45cm2@ center
2000~3500kgf/6.45cm2@ center
安全性
極限荷重を超えた時、変形するだけで割れない
極限荷重を超えると、割れやすい
ガス放出性
1.9 × 10-9
4.6 ×10-9
Stability
疲労に耐え、割れず、酸アルカリに耐える
疲労に弱く、割れやすく、酸アルカリに弱い
 
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高力熱處理工業股份有限公司

 

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